国外集成电路测试自动化

本书为上海科学技术情报研究所编辑的《国外集成电路测试自动化》，正文标题作《国外集成电路测试仪概况》，据文件名出版年为1973年，本次OCR仅见前20页。内容围绕国外集成电路测试仪的发展概况、用途、形式、性能与种类展开。书中指出，集成电路（IC）测试仪是在使用和制造集成电路时用来测试或检验其主要电特性的设备，随IC发展而发展。最初IC测试仪都是大型的，即IC自动测试仪，由IC生产厂为制造IC而研制，后来才逐渐在市场上出售，如美国仙童公司生产的4000型、德克萨斯仪器公司生产的553型及日本东芝公司生产的1200型IC测试仪等。随着IC普及，根据使用者需要出现了小型简易IC测试仪；随着中规模集成电路（MSI）和大规模集成电路（LSI）大量生产并进入实用阶段，相应出现了MSI测试仪和LSI测试仪。目前IC测试仪种类很多，从小型简易测试仪到采用电子计算机控制的大规模测试系统，使用者可根据不同用途和目的选用。从以往几年测试仪来看，是朝着通用化、高速化、高可靠性和采用小型电子计算机控制的方向发展。最近出售的大规模测试系统价格已达三亿日元，接近大型计算机。

书中还介绍IC测试仪正在不断进步的几个方面。其一是LSI测试仪的出现。当IC向LSI发展后，由于管脚数增多、功能复杂、测试项目多，为降低测试费用，把工作状态下的功能测试作为方向，出现了专门测试功能的专用测试仪，如美国仙童公司的8000A型、台他特隆公司的4400型和日本东芝公司的6000A型等。二是提高测试速度。为缩短测试时间、节约测试费用，许多测试仪都提高了测试速度，有些测试仪采用电子开关代替过去的舌簧继电器来进行高速测试，如台他特隆公司的4400型和日本竹田理研公司的SPAT-1型等，其最高测试速度为每项20微秒。三是向通用性方向发展。随着集成电路品种增多，对于生产厂，用单一测试仪测试不经济，因此出现了可测多个品种和几个项目的测试仪，如美国E-H研究试验室的4500型测试仪，可测单个元件、小规模集成电路、中规模集成电路、大规模集成电路以及印刷线路板等的直流参数，稍加适当辅助设备就可作动态参数和功能测试。四是用计算机控制。近几年用小型计算机控制测试仪的方法日益普遍，用计算机可同时控制几台测试仪，目前最多可控制八台，如美国仙童公司的哨兵式-400型，是MOS型大规模集成电路和随机存储器的专用测试仪，用小型计算机FST-1控制，测试精度为0.1%，程序分辨率时间为10毫微秒、电压为10毫伏、电流为1毫微安。美国Macrodata公司已生产一种测试仪，从开始设计直到电路分析、模拟、测试图发生等都用电子计算机辅助，软件在一定程度上还可获得制造上必要的情报。美国夕尔万尼亚公司研制了一种IC测试仪，作为IC环境试验用，和电子计算机一起使用，称为MRA TOMIC（单块集成电路多次快速自动测试的简称），每小时可测试1,800个IC，每次为200个，可靠性高、成本低、能大量测试，国外有人说是“IC测试仪的一个革命”。

书中还分述IC测试仪的用途，大致分为两种：一种是IC生产厂为生产和试制IC而制造的大型生产设备，即IC自动测试仪；另一种是IC使用者作特性试验而制造的小型测试仪。生产厂的具体应用包括设计IC、基片制造时的基片检查、IC系列分类、入库与出库检查、收集与处理质量管理数据、鉴定质量、保证可靠性；使用者的具体应用包括检查买进的IC、按IC特性分类、鉴定IC与附加装置的设计。书中还按用途提出不同要求，并介绍简易型IC测试仪、高速自动IC测试仪、MSI/LSI测试仪等形式，以及IC测试仪的性能和种类，包括直流测试、交流测试（脉冲特性测试）、功能测试等。文中列有简易型IC测试仪性能比较表、IC测试仪性能比较表等，列举VARADYNE、TERADYNE、SIGNETICS、MICRODYNE、REDCORE、BECKMAN、COMPUTE TEST、BIRTCHER、OPTIMIZED DEVICE、MONITOR SYSTEM、MICRO TEST、CONTINENTAL DEVICE、AEROTROMIC、FAIRCHILD、东京精密、港通信、三菱电机、安藤电气、国洋电机、桑野电机等厂型号及参数。本书属科技情报资料，反映20世纪70年代初国外集成电路测试自动化技术水平，对集成电路测试、半导体工业及科技情报研究具有参考价值。本次仅见前20页，后续内容待补。